HORIBA/堀場CS-900非接觸式化學藥液濃度計的產品詳情：

CS-900為達到半導體濕法制程中所需的嚴格化學藥液濃度控制，HORIBA通過設計緊湊設備，以及通過其原有傳感器設計保持穩定測量和確保操作人員安全，實現更強大功能以滿足需求。

產品特點：

無接觸，高度穩定

從外部將傳感器直接連接到PFA管路，實現無污染。這消除了在安裝傳感器時進行管路施工的要求，從而減少化學事故。此外，通過升級光學系統，設備變得更加緊湊，同時保留 CS-600F*1的原始規格。

高質量、穩定測量

無污染配備溫度補償功能，實現穩定測量配備 HORIBA 原始算法，補償氣泡影響重復性和穩定性與常規的 CS-600*1 相同

抑制振動效應

HORIBA 采用抗錯位強的光學系統結構，與 HORIBA的原始管路結構協同配合。

節省空間

光源和光學傳感器已集成至樣品單元。平板顯示器（9.6cm x 9.6cm）

光源壽命更長

使用LED燈，延長使用壽命（5 年質保期）

提高工作安全性

每半年一次的背景校正補償周期安裝產品時無需安裝管路，有助于減少化學藥液泄漏等事故。

*1 CS-600 是 HORIBA 的光纖型化學藥液濃度計。

不使用光纖的光學設計和主機，加上傳感器的縮小提升了安裝的自由度

對于寬溫度范圍（20℃ 至 80℃）的化學藥液，可進行直接、穩定的測量

穩定性

測量條件測量頻率：每 3 秒移動平均數：16 次溫度：室溫管徑：3/4 英寸

初始樣品濃度

NH3 : 0.95%    H2O2 : 5.15%    H2O: 93.9%

測量結果

樣品（實際液體）測量1小時，展示出良好的穩定性。

易于裝卸

HORIBA/堀場CS-900非接觸式化學藥液濃度計的產品參數：

• CS-620F高溫磷酸濃度計